等離子清洗機(jī)的風(fēng)險(xiǎn)辨識(shí)及管控措施

　　等離子清洗機(jī)(plasmacleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量，使之離化成等離子狀態(tài)。依靠等離子體中活性離子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔的沖刷被清洗物表面，短時(shí)間的清洗可以使有機(jī)污染物被*的清洗掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，清洗程度能達(dá)到分子級(jí)。有效避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)清洗物帶來(lái)的二次污染。
 

　　工作原理：
 

　　等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)或物理反應(yīng)，達(dá)到清洗目的。
 

　　(1)化學(xué)反應(yīng)
 

　　在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CH4)等，其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基與材料表面做化學(xué)反應(yīng)。下圖為氧等離子體去除有機(jī)物的反應(yīng)過(guò)程。
 

　　(2)物理反應(yīng)
 

　　常見(jiàn)的氣體為氬氣，氬離子在自偏壓或外加偏壓作用下，被加速產(chǎn)生動(dòng)能，轟擊放在負(fù)電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂或者微顆粒污染物，同時(shí)進(jìn)行表面能活化。反應(yīng)過(guò)程如下：
 

　　風(fēng)險(xiǎn)辨識(shí)如下：
 

　　(1)清洗介質(zhì)的泄漏風(fēng)險(xiǎn)
 

　　清洗介質(zhì)一般為氣體，常使用氣瓶，通過(guò)管道送至設(shè)備使用，如果發(fā)生氣瓶或送氣管道、用氣設(shè)備的泄漏，可能會(huì)發(fā)生事故，如果使用氫氣、甲烷等易燃易爆氣體，室內(nèi)有明火、靜電等可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸事故；如果使用氬氣，室內(nèi)通風(fēng)不良，可能發(fā)生窒息事故；如果使用氧氣，氧氣屬于氧化性氣體，會(huì)增加可燃物的易燃性，如果室內(nèi)氧氣濃度過(guò)高，可能會(huì)發(fā)生火災(zāi)事故。
 

　　(2)設(shè)備觸電風(fēng)險(xiǎn)
 

　　1)電氣設(shè)施線路絕緣因擊穿、老化、腐蝕、機(jī)械損壞等失效。
 

　　2)未裝設(shè)漏電保護(hù)裝置或漏電保護(hù)裝置失效。
 

　　管控措施：
 

　　(1)防火、防爆、防窒息措施
 

　　1)規(guī)范氣瓶使用，氣瓶附件應(yīng)齊全，并采取防止傾倒的措施。氣瓶應(yīng)定期檢測(cè)，確保在有效期內(nèi)。供氣管道與用氣設(shè)備連接牢固。
 

　　2)如使用氧氣，氣瓶閥、接頭、減壓器、軟管及設(shè)備必須與油、潤(rùn)滑脂及其它可燃物或相隔離。嚴(yán)禁用沾有油污的手、或帶有油跡的手套去觸碰氧氣瓶或氧氣設(shè)備。如使用氫氣，建議在使用設(shè)備附近設(shè)置氫氣泄漏報(bào)警器。
 

　　3)保持室內(nèi)通風(fēng)良好，通風(fēng)不良的應(yīng)加裝機(jī)械排風(fēng)。
 

　　(2)防觸電措施
 

　　設(shè)備應(yīng)接地，電源線無(wú)破損、老化現(xiàn)象。